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精测电子：14nm明场缺陷检测设备已交付

来源：证星互动追踪 2025-11-27 17:24:12

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证券之星消息，精测电子(300567)11月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：尊敬的董秘，公司 BFI 设备已实现 14nm 交付、28nm 验收，半导体在手订单占比超五成，但从该设备单价推断BFI设备未大规模放量。请问未放量核心原因是什么？盼清晰回复以助投资者判断。

精测电子回复：您好！在明场光学缺陷检测设备领域，公司目前已累计取得多台（套）正式订单，已实现小批量交付及验收。其中，14nm先进制程工艺节点的明场缺陷检测设备已正式交付客户，目前验收等相关工作进展顺利，设备运行情况良好；28nm制程工艺节点的明场缺陷检测设备已在客户端完成验收。明场光学缺陷检测设备等新产品，预计后续会成为公司业绩的核心驱动力。感谢您对公司的关注，谢谢！

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