光峰科技获得实用新型专利授权：“混合光栅制备装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光峰科技（688007）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“混合光栅制备装置”，专利申请号为CN202422770247.3，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：本申请公开了一种混合光栅制备装置，包括：光刻基底，用于承载光刻胶层；光栅掩膜，包括与多个光刻区域一一对应的多个掩膜区域，每个掩膜区域的光栅参数与每个掩膜区域对应的光刻区域的目标曝光参数匹配；曝光组件，用于出射与多个光刻区域一一对应的多组初始光束至光栅掩膜，并将每组初始光束投射至每组初始光束对应的掩膜区域进行衍射，以衍射形成投射至光刻胶层上的多组曝光光束；显影组件，用于对曝光后的光刻胶层进行显影处理，得到具有设定光栅结构分布的光刻结构。如此，简化了变参数以及变形貌的混合光栅制备工艺，使得混合光栅可以大批量且低成本地量产。

今年以来光峰科技新获得专利授权153个，较去年同期增加了42.99%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.25亿元，同比增11.81%。

通过天眼查大数据分析，深圳光峰科技股份有限公司共对外投资了23家企业，参与招投标项目470次；财产线索方面有商标信息588条，专利信息2327条，著作权信息67条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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