拓荆科技获得实用新型专利授权：“晶圆旋转机构和半导体器件的工艺设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆旋转机构和半导体器件的工艺设备”，专利申请号为CN202422698141.7，授权日为2025年11月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆旋转机构和半导体器件的工艺设备。晶圆旋转机构包括：副腔，位于主反应腔的一侧，并连通主反应腔；旋转承托组件，位于副腔的内部；以及控制器，被配置为：响应于主反应腔内的晶圆表面完成第一层薄膜沉积，将晶圆从加热盘上顶起；将旋转承托组件送入主反应腔内的晶圆的下方；将晶圆下落到旋转承托组件上，进行晶圆旋转；响应于晶圆完成旋转，将晶圆从旋转承托组件上顶起；将旋转承托组件移出主反应腔；以及将旋转后的晶圆下落回加热盘上，进行第二层薄膜沉积。本实用新型能够避免晶圆因借助外部的传输单元而移出反应腔所导致的工艺污染的风险，同时还能提升叠层沉积工艺中膜厚的均一性，从而精准控制膜厚。

今年以来拓荆科技新获得专利授权59个，较去年同期增加了118.52%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息732条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可33个。

数据来源：天眼查APP

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