中微公司获得发明专利授权：“气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法”，专利申请号为CN202310920875.2，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本发明提供了一种气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法，属于等离子体处理设备技术领域，为了解决气体分配器中管路放电造成的设备损伤，具体包括：气体喷淋头；与所述气体喷淋头电连接的射频源；远程等离子体源，其等离子体出口通过一输气管道与所述气体喷淋头的出气口连通，以及移动塞，通过移动塞在输气管道中移动来切换不同的工艺处理状态，以实现在等离子体处理过程中，既满足不同工艺对等离子体种类的要求，又避免气体在输气管道中被激发成等离子体后损伤设备。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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