燕东微获得发明专利授权：“MEMS器件及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示燕东微（688172）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制备方法”，专利申请号为CN202310118224.1，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本申请实施例提供一种MEMS器件及其制备方法，其中MEMS器件包括衬底，以及层叠设置在所述衬底上的第一电极层和第二电极层，其中：所述第二电极层包括相连接的锚点与横梁，所述锚点支撑在所述横梁的至少一个端部与所述第一电极层之间，所述横梁的中部悬空于所述第一电极层；所述锚点包括第一锚固部与第二锚固部，所述第一锚固部与所述第二锚固部间隔设置且分别固定在所述横梁的端部的相对两侧。本申请实施例提供的MEMS器件具有避免温度变化时横梁弯曲，利于提高MEMS器件的性能的优点。

今年以来燕东微新获得专利授权4个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.64亿元，同比增221.21%。

通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目130次；财产线索方面有商标信息27条，专利信息152条；此外企业还拥有行政许可9个。

数据来源：天眼查APP

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