中微公司获得发明专利授权：“气体喷淋头、气相沉积设备及其使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“气体喷淋头、气相沉积设备及其使用方法”，专利申请号为CN202310862480.1，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本发明公开了一种气体喷淋头、气相沉积设备及其使用方法，气体喷淋头包括：气体分配板，其上设有互相交替排布且同心设置的第一输送通道和第二输送通道；盖板上的第一气体连通通道跨过第二输送通道连通相邻的两个第一输送通道；第二气体连通通道跨过第一输送通道连通相邻的两个第二输送通道；第一输送通道的第一入口端，用于输送第一气体；第一低压源用于向第一出口端处提供低压；第二入口端用于输送第二气体；第二低压源用于向第二出口端处提供低压；第一输送通道和第二输送通道下方设有气孔。本发明提供的气体喷淋头既能被快速换气，防止两种反应气体在所述气体喷淋头中混合，又能向基片提供均匀的反应气体。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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