中微公司获得发明专利授权：“一种边缘环组件，薄膜生长装置、系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种边缘环组件，薄膜生长装置、系统及方法”，专利申请号为CN202111661018.2，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本发明公开了一种边缘环组件，一种薄膜生长反应腔和系统以及一种薄膜生长方法，所述边缘环组件位于一薄膜生长反应腔内，所述反应腔内设置一支撑基片的托盘，所述边缘环组件环绕设置于所述托盘外围，所述边缘环组件包括一边缘调整环和一边缘支撑环；所述边缘调整环包括若干支撑桩；所述边缘支撑环在圆周方向上具有若干个支撑区间，同一支撑区间内设有不同高度的支撑面；当所述支撑桩的底面与不同高度的支撑面接触时可以实现对所述边缘调整环高度的调整。本发明可以延长边缘环组件的维护时间，提高薄膜生长反应腔的使用效率。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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