中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置”，专利申请号为CN202422182344.0，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本实用新型公开了一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置，包括一个线圈，具有一个接收射频功率的输入端以及一个接地的输出端；一个非接触耦合器，具有连接到线圈输入端的接收连接器和一个与射频功率源耦合的传输连接器，所述接收连接器和所述传输连接器非接触耦合以使得二者之间直流断开，同时允许射频功率传输，所述接收连接器相对于所述传输连接器可旋转；一个接地耦合器，连接在线圈的输出端和地电位之间。本实用新型可以确保线圈在旋转过程中维持稳定的射频能量输入至等离子体处理腔内。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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