中微公司获得实用新型专利授权：“一种真空平台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空平台”，专利申请号为CN202422993652.1，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本实用新型涉及一种真空平台，其用于处理晶圆，包括：第一传输腔，其连接有若干个具有双处理台的CVD工艺腔；第二传输腔，其连接有若干个非CVD工艺腔；缓冲腔，连接在所述第一传输腔和所述第二传输腔之间，所述缓冲腔连接有用于调节其腔内压力的供气系统和真空系统。所述真空平台能够提高晶圆处理效率，以及降低CVD工艺产生的尾气污染风险。

今年以来中微公司新获得专利授权149个，较去年同期增加了49%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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