微导纳米获得发明专利授权：“一种化学物质输送系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学物质输送系统及方法”，专利申请号为CN202310782006.8，授权日为2025年11月11日。

专利摘要：本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，且通过第二载气支路与液体化学物质箱连接；液体化学物质箱通过液体化学物质输送管路，与汽化器连接；汽化器中的快速隔膜阀的进气口与第一载气支路连接；快速隔膜阀的气液出口与汽化器的腔体连接；快速隔膜阀的进液口与液体化学物质输送管路连接；汽化器通过工艺气体沉积管路，与工艺气体沉积的反应腔体连接；快速隔膜阀用于在向反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体进行吹扫时关闭。通过快速隔膜阀可将响应时间缩短，实现快速将大量化学物质输入反应腔体，满足微观结构复杂的工艺气体沉积的需求。

今年以来微导纳米新获得专利授权62个，较去年同期增加了47.62%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目50次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息557条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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