中微公司获得发明专利授权：“一种晶圆传送装置、气相沉积系统及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆传送装置、气相沉积系统及使用方法”，专利申请号为CN202110868458.9，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆传送装置、气相沉积系统及使用方法，所述晶圆传送装置，用于气相沉积设备中晶圆和晶圆托盘的移动，包括：晶圆盒组，与气相沉积设备的负载锁定腔室相对设置，用于存储晶圆；托盘台，用于承载晶圆托盘；第一传送机构，用于将晶圆托盘在托盘台和负载锁定腔室之间进行传送；第二传送机构，用于从晶圆托盘上将沉积后晶圆取出；第三传送机构，其包括承载臂，用于将沉积后晶圆放入晶圆盒组以及将未沉积晶圆从晶圆盒组中取出；夹持臂，用于将未沉积晶圆放入晶圆托盘中。本发明既可以实现晶圆传输的自动化，又可以避免未沉积的晶圆上表面被接触污染，极大提高了晶圆的传输效率及晶圆上表面的洁净度。

今年以来中微公司新获得专利授权139个，较去年同期增加了39%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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