中微公司获得发明专利授权：“一种气体注入装置、外延设备及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体注入装置、外延设备及使用方法”，专利申请号为CN202210729491.8，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本发明公开了一种气体注入装置、外延设备及使用方法，所述气体注入装置，用于外延设备，包括：法兰体和设置于所述法兰体内的若干个气体注入通道及出气口；每一所述气体注入通道包括：进气口，与气体源连接；混气通道，与所述进气口连通；且所述混气通道内设置有若干个混气孔，用于将所述气体源供应的工艺气体混合均匀；以及匀气通道，与所述混气通道连通，用于使混合均匀的工艺气体分布均匀；所述出气口与所述气体注入通道和所述外延设备的反应腔连通，用于将混合均匀且分布均匀的工艺气体输送至所述反应腔内。本发明可以向反应腔内输送混合均匀且分布均匀的工艺气体，且使工艺气体进入反应腔时呈层流状态流动，以保证晶圆良品率。

今年以来中微公司新获得专利授权136个，较去年同期增加了36%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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