中微公司获得实用新型专利授权：“一种气路加热模组”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气路加热模组”，专利申请号为CN202422993593.8，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气路加热模组，所述气路加热模组包含：第一壳体，其具有用于容纳待加热结构的容纳空间；热能载体流道，其设置于所述第一壳体的板体内部，所述热能载体流道包含连通的预热通道和工作通道，所述预热通道具有热能载体入口，所述工作通道上开设有若干个与所述第一壳体的容纳空间连通的气孔；加热装置，其用于加热所述第一壳体，同时间接加热所述预热通道。其优点是：该气路加热模组将加热装置、第一壳体和热能载体流道等相结合，可提高对待加热结构的加热和保温效率，同时还提升了待加热结构的温度均匀性，热能利用效率较高。

今年以来中微公司新获得专利授权134个，较去年同期增加了44.09%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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