中微公司获得实用新型专利授权：“一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块”，专利申请号为CN202423230256.X，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块，在半导体处理设备的气体输送装置的气体通路模块的模块主体中设置清洁气体进气管路、第一反应气体进气管路、第二反应气体进气管路、共用管路和主出气管路，采用最少数量的管路并配合第一控制阀和第二控制阀来控制各个管路的进气口和排气口之间的通断，实现交替通入反应气体和清洁气体。通过在模块主体中设置第一反应气体排气管路和第二反应气体排气管路，确保第一反应气体进气管路中一直流通第一反应气体，第二反应气体进气管路中一直流通第二反应气体，缩短了切换时间，实现了不同气体的快速切换。通过在排气管路上设置排气阀来减少每次切换气体时管路内压力发生骤变，确保气体平稳切换。

今年以来中微公司新获得专利授权134个，较去年同期增加了44.09%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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