微导纳米获得发明专利授权：“等离子体装置和等离子体沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体装置和等离子体沉积设备”，专利申请号为CN202510097550.8，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：本申请提供了一种等离子体装置和等离子体沉积设备。装置包括：等离子体反应腔，包括上电极板和下电极板，上下电极板具有电压差以产生等离子体；以及磁性材料，包括：长度方向沿上电极板的第一侧边方向设置在上电极板的第一边缘区域之上以及长度方向沿下电极板的第一侧边方向设置在下电极板的第一边缘区域之下的第一磁性材料。如此，利用磁性材料在等离子体反应腔内构建非均匀磁场，来改变等离子体反应腔边缘处的等离子密度，从而可以在大面积CCP放电时，降低等离子体反应腔边缘处出现的等离子体峰值，使等离子体在整个等离子体反应腔内的分布更加均匀。

今年以来微导纳米新获得专利授权61个，较去年同期增加了48.78%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目50次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息554条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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