中科飞测获得发明专利授权：“一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品”，专利申请号为CN202510985945.1，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本申请公开了一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取第一索引数组和第二索引数组；第一索引数组对应第一晶圆的一组缺陷点测量结果，第二索引数组对应第一晶圆的另一组缺陷点测量结果；基于二分法从第二索引数组中确定与第一索引数组中的参考点索引对应的候选点索引集合；从候选点索引集合中确定与参考点索引对应的目标点索引；若目标点索引对应的最近邻点同样与参考点索引对应，则将目标点索引与参考点索引进行匹配。如此，结合索引数组与一对多匹配的快速计算方法，消除了匹配过程中的内存拷贝与冗余计算，提高了晶圆缺陷点坐标的匹配效率。

今年以来中科飞测新获得专利授权77个，较去年同期减少了29.36%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目268次；财产线索方面有商标信息337条，专利信息1050条，著作权信息36条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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