证券之星消息,根据天眼查APP数据显示C奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆的缺陷检测方法及装置”,专利申请号为CN202411828384.6,授权日为2025年10月31日。
专利摘要:本发明提供了一种晶圆的缺陷检测方法及装置,属于半导体制造技术领域。缺陷检测方法,包括:获取每片晶圆表面的缺陷数据,缺陷数据包括缺陷的类型、尺寸和位置坐标;对同一批次晶圆进行统一规则的分区,每一晶圆被划分为I个区域,计算每一区域的缺陷密度值,第i区域的缺陷密度值由第i区域的缺陷数据和第i区域的面积决定,第i区域的缺陷数据为同一批次的所有晶圆在第i区域的缺陷数据的汇总;将各区域的缺陷密度值与缺陷密度阈值进行比对,若存在区域的缺陷密度值为对应的缺陷密度阈值的N倍以上,或,该批次的M个以上晶圆的同一区域的缺陷密度值大于对应的缺陷密度阈值,将该批次晶圆判定为异常晶圆。本发明能够检测出晶圆的批次性缺陷。
今年以来C奕材新获得专利授权38个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元,同比减nan%。
通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目3次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1448条;此外企业还拥有行政许可24个。
数据来源:天眼查APP
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