中科飞测获得发明专利授权：“双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质”，专利申请号为CN202510954018.3，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本发明公开了一种双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质，其中方法包括：分别获取两个检测通道下晶圆图像的缺陷掩膜并取并集，得到综合掩膜；对综合掩膜进行区域连通性分析，得到连通域及连通域参数信息；基于连通域参数信息分别在两个检测通道下的缺陷掩膜中截取对应的缺陷区域；将存在缺陷且对应综合掩膜上同一连通域的缺陷区域内的缺陷划分为同一缺陷组别。本发明能够将从两个不同检测通道下获取的晶圆图像中识别的缺陷进行数据对齐，更加准确的完成晶圆表面的缺陷分类。

今年以来中科飞测新获得专利授权77个，较去年同期减少了29.36%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目268次；财产线索方面有商标信息337条，专利信息1050条，著作权信息36条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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