芯源微获得发明专利授权：“晶圆偏移量检测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆偏移量检测方法”，专利申请号为CN202211520140.2，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆偏移量检测方法，包括：获取传感器扫描到所述晶圆边缘的扫描点的第一边缘位置，所述传感器扫描到所述扫描点时产生第一扫描信号；获得所述第一扫描信号产生时所述机械手的所在位置与所述第二位置之间的第一距离；通过所述第一边缘位置和所述第一距离获得当所述机械手位于所述第二位置时所述扫描点的第二边缘位置；通过所述第二边缘位置和所述晶圆的半径获得所述晶圆偏移时的偏移圆心位置；通过所述偏移圆心位置与所述基准圆心位置之间的位置关系获得所述晶圆的偏移量，本发明无需在设备内设置对中单元避免了晶圆运输至对中单元的步骤，进而提升了提高工艺效率。

今年以来芯源微新获得专利授权46个，较去年同期增加了64.29%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目325次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息633条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可65个。

数据来源：天眼查APP

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