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C奕材获得发明专利授权:“晶圆的缺陷检测方法及装置”

来源:证券之星企业动态 2025-11-01 03:31:34
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示C奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆的缺陷检测方法及装置”,专利申请号为CN202411653029.X,授权日为2025年10月31日。

专利摘要:本发明提供了一种晶圆的缺陷检测方法及装置,属于半导体制造技术领域。晶圆的缺陷检测方法,包括:对待判定的晶圆进行缺陷边界的提取,确定晶圆的缺陷的形貌信息,形貌信息包括断点数量、缺陷分布密度、每段缺陷的长度及角度;根据形貌信息生成包括多个特征矢量的缺陷密度矩阵,缺陷密度矩阵用于表征缺陷的密度变化及断点分布情况;利用缺陷判定模型对缺陷密度矩阵进行评估,得到晶圆的风险分数;将晶圆的风险分数与预设的风险阈值进行比较,将风险分数大于风险阈值的晶圆判定为出现未连续Special pattern缺陷的晶圆。本发明能够识别未连续Special pattern缺陷的晶圆。

今年以来C奕材新获得专利授权38个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元,同比减nan%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目3次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1448条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

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