芯源微获得发明专利授权：“一种HMDS喷涂装置及对晶圆喷涂HMDS的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种HMDS喷涂装置及对晶圆喷涂HMDS的方法”，专利申请号为CN202110819159.6，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本发明提供了一种HMDS喷涂装置及对晶圆喷涂HMDS的方法，该装置包括盖体，该盖体内设有进气通道和出气通道，导气件，设于该盖体的上端面，该导气件的一端与进气通道导通，导气件的另一端与出气通道导通，底盘，与盖体连接，底盘和盖体配合连接形成腔室，腔室分别与进气通道和出气通道导通喷嘴，设于腔室内，且与进气通道连接。本发明通过盖体和底盘的配合连接形成密闭的腔室，且在密闭的腔室内设置喷嘴，通过喷嘴可实现对晶圆的均匀喷涂HMDS，提高了光刻胶与晶圆表面的粘结，保证光刻胶在晶圆处理过程中更好的完成图形转移。

今年以来芯源微新获得专利授权44个，较去年同期增加了57.14%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目324次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息630条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可65个。

数据来源：天眼查APP

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