华海清科获得发明专利授权：“晶圆抛光方法及设备、数据处理设备、程序、存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆抛光方法及设备、数据处理设备、程序、存储介质”，专利申请号为CN202411538308.1，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本发明涉及晶圆抛光方法及设备、数据处理设备、程序、存储介质。所述抛光方法包括：装载待抛光的晶圆；读入第一抛光配方，依照其对晶圆进行初级抛光；检测晶圆的全部分区的晶圆参数，判断晶圆的全部分区的晶圆参数是否都达标，都达标则卸载晶圆、未都达标则通过动态调整模型根据晶圆参数得到第二抛光配方，基于第二抛光配方对晶圆的未达标的分区进行二级抛光，然后返回重新检测晶圆的分区的晶圆参数，直到判断晶圆的全部分区的晶圆参数都达标，卸载抛光完毕的晶圆。本发明能够在晶圆抛光过程中实现多区自动触发以时间?压力自动联合调节的返工功能，避免了对整个晶圆进行重复处理，降低了材料消耗和成本。

今年以来华海清科新获得专利授权80个，较去年同期增加了175.86%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目235次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息756条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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