芯源微获得发明专利授权：“一种流体调速装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种流体调速装置”，专利申请号为CN202211712616.2，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体调速装置，包括基座、基板转轴、固定环、流体回收盘、流体回收盘连接环、基板转轴驱动件及流体回收盘驱动件。基板转轴穿设于基座中部、下端与基板转轴驱动件连接，固定环安装于基板转轴外周的基座上，流体回收盘驱动件安装于固定环外周的基座上，流体回收盘驱动件通过流体回收盘连接环直接带动流体回收盘转动。本发明相对现有的技术，通过采用直驱电机的流体回收盘驱动件，在做到提高化学药品回收率的同时，做到了驱动端模块化，便于安装维护，可有效避免间接驱动例如齿轮传动或压缩空气推动叶轮等驱动方式带来的颗粒物污染问题，保证半导体湿制程的工艺效果。

今年以来芯源微新获得专利授权44个，较去年同期增加了57.14%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目324次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息630条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可65个。

数据来源：天眼查APP

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