微导纳米获得发明专利授权：“一种等离子体产生方法和处理方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体产生方法和处理方法”，专利申请号为CN202310037306.3，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本发明提供一种等离子体产生方法和处理方法，等离子体产生方法包括：采用等离子体电源给处理腔内部的等离子体产生部件输出脉冲信号，以在所述处理腔内产生等离子体；其中，脉冲信号对应的脉冲宽度为0.5ms－1ms，脉冲间隔为4ms－7ms。处理方法包括：采用等离子体产生方法得到的等离子体在所述处理腔内进行等离子体处理。采用这种等离子体产生方法能有效的提高处理速率。

今年以来微导纳米新获得专利授权60个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目48次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息552条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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