拓荆科技获得发明专利授权：“传送晶圆的方法和机械手臂”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“传送晶圆的方法和机械手臂”，专利申请号为CN202011643091.2，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本申请涉及一种传送晶圆的方法和机械手臂。所述方法包括：将第一晶圆提供到机械手臂的手指部前端；伸展所述机械手臂到第一长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到第一处理腔室中的第一处理位置；将所述第一晶圆放置于所述第一处理位置；收缩所述机械手臂使所述机械手臂的所述手指部前端移出所述第一处理腔室；将第二晶圆提供到所述机械手臂的所述手指部前端；伸展所述机械手臂到第二长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到所述第一处理腔室中的第二处理位置，其中所述第二长度不同于所述第一长度；以及将所述第二晶圆放置于所述第二处理位置。

今年以来拓荆科技新获得专利授权57个，较去年同期增加了111.11%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息724条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可33个。

数据来源：天眼查APP

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