西安奕材获得实用新型专利授权：“一种晶圆抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆抛光设备”，专利申请号为CN202423076606.1，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本公开提供一种晶圆抛光设备，包括：用于暂存多片待抛光的晶圆的上料缓存区；用于对晶圆进行抛光处理的抛光装置；用于暂存已抛光的晶圆的下料缓存区；用于对已抛光的晶圆进行清洗、干燥处理的清洗干燥区；用于承接来自清洗干燥区的晶圆的最终下料区；用于在上料缓存区、抛光装置、下料缓存区、清洗干燥区及最终下料区之间转移晶圆的晶圆转移机构；用于控制上料缓存区、抛光装置、下料缓存区、清洗干燥区、最终下料区及晶圆转移机构的工作状态的控制单元，控制单元分别与上料缓存区、抛光装置、下料缓存区、清洗干燥区、最终下料区及晶圆转移机构连接。本公开的晶圆抛光设备能够实现晶圆抛光工艺段的自动上下料作业，提高生产效率。

今年以来西安奕材新获得专利授权27个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1421条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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