微导纳米获得发明专利授权：“一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法”，专利申请号为CN202310482908.X，授权日为2025年10月21日。

专利摘要：本发明提供基片支撑结构以及具有该基片支撑结构的沉积设备，对用于静电吸附的凸点布局设计，将三个杆孔以基座圆心为中心呈等边三角形排布，同时基座的圆心处设置一凸点，不在同一直线上的三个相邻凸点呈等边三角形排布，且两个相邻的凸点的连线与三个杆孔构成的等边三角形的一边平行，各相邻两凸点之间的间距相等，该布局下凸点呈三点支撑，使得基片局部变形小，同时在该整体布局下，吸附力更为均匀，可以克服高温过程中由于局部温差而导致的基片局部塌陷问题，提升基片加工良率。

今年以来微导纳米新获得专利授权58个，较去年同期增加了52.63%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息549条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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