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盛美上海获得发明专利授权:“基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备”

来源:证券之星企业动态 2025-10-18 02:58:06
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示盛美上海(688082)新获得一项发明专利授权,专利名为“基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备”,专利申请号为CN202510780743.3,授权日为2025年10月17日。

专利摘要:本申请公开了一种基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备,基片盒包括侧壁和可开启的门,基片盒存储装置包括:存储架,存储架包括至少一个承载板,每个承载板包括至少一个承载部和至少一个吹扫部,其中,承载部用于承载基片盒,吹扫部被配置为至少向门吹扫;供气管路,供气管路与吹扫部连通,用于向吹扫部供气;以及壳体,壳体内部具有容纳空间,至少一个承载板设置于容纳空间内,壳体包括排气口,排气口用于排出壳体内的气体。各承载板上设置的吹扫部可在基片盒放置期间,通过向基片盒的门吹扫,将基片盒的门附着的颗粒有效吹落,降低后续基片盒开启时基片被污染的风险,从而保障后续工艺的洁净度。

今年以来盛美上海新获得专利授权22个,较去年同期增加了450%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.16亿元,同比增20.17%。

通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目169次;财产线索方面有商标信息34条,专利信息608条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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