西安奕材获得发明专利授权：“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”，专利申请号为CN202411788598.5，授权日为2025年10月17日。

专利摘要：本发明提供了一种硅片固定装置和硅片刻蚀设备，涉及半导体技术领域，硅片固定装置，包括：下承载台和上抵压台，硅片设置于下承载台朝向上抵压台的一面上；上抵压台上设置有多个抵压盘，每一抵压盘形成为内部中空的圆柱状结构，不同的抵压盘的直径不同，每一抵压盘能够在竖直方向上上升或下降；控制器，用于获取硅片的尺寸和硅片上待刻蚀的边缘区域的目标尺寸，根据目标尺寸和硅片的尺寸，控制多个抵压盘中的第一抵压盘下降抵压硅片的第一表面，以使第一表面暴露出目标尺寸的边缘区域。本发明可以匹配不同尺寸的硅片和不同尺寸的待刻蚀的边缘区域，通过一个硅片固定装置，即可以满足不同尺寸的硅片和不同尺寸的边缘区域的刻蚀需求。

今年以来西安奕材新获得专利授权25个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1339条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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