盛美上海获得发明专利授权：“基板处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“基板处理设备”，专利申请号为CN202210724206.3，授权日为2025年10月17日。

专利摘要：本发明揭示了一种基板处理设备，包括工艺腔室、基板托盘、兆声波发射装置和清洗装置，基板托盘设置于工艺腔室内，基板托盘用于承载基板；兆声波发射装置用于对兆声波发射装置和基板之间的化学液传递兆声波能量；清洗装置用于清洗兆声波发射装置，清洗装置包括静电导流组件，静电导流组件设置于清洗装置，静电导流组件用于与兆声波发射装置电性连接，以将兆声波发射装置上的电荷导走。本发明具有避免基板表面因兆声波发射装置上积累的电荷放电而产生损伤缺陷的优点。

今年以来盛美上海新获得专利授权22个，较去年同期增加了450%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.16亿元，同比增20.17%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目169次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息608条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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