中微公司获得发明专利授权：“下电极组件、化学气相沉积装置及基片温度控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“下电极组件、化学气相沉积装置及基片温度控制方法”，专利申请号为CN202110176614.5，授权日为2025年10月14日。

专利摘要：一种下电极组件、化学气相沉积装置及基片温度控制方法，其中，下电极组件包括：加热盘，具有凹陷于其表面的基片槽，所述基片槽的底部设有凸台，用于支撑基片，所述基片与基片槽的底部之间形成凹坑空间，所述基片槽的底部内设有若干个加热元件，所述基片槽的底部设有进气口，用于向所述凹坑空间内基片的背面输送导热气体。利用所述化学气相沉积装置有利于提高基片不同区域温度的一致性。

今年以来中微公司新获得专利授权129个，较去年同期增加了40.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1538条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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