中微公司获得发明专利授权：“一种直流偏压控制方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种直流偏压控制方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202011298561.6，授权日为2025年10月14日。

专利摘要：本发明提供一种直流偏压控制方法，包含：探测晶圆表面的直流偏置电压信号；同步偏置射频功率源的输出时钟信号，根据所述输出时钟信号判断偏置射频功率源的输出方式，并根据所述输出时钟信号、输出方式对探测的直流偏置电压信号进行采样、去噪后计算反馈值；根据所述反馈值调整偏置射频功率源的输出功率。本发明还提供一种等离子体处理装置。本发明能够适用于连续波和脉冲波输出方式的偏置射频功率源。

今年以来中微公司新获得专利授权129个，较去年同期增加了40.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1538条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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