中微公司获得发明专利授权：“一种聚焦环、等离子体处理装置及其操作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种聚焦环、等离子体处理装置及其操作方法”，专利申请号为CN202310323227.9，授权日为2025年10月14日。

专利摘要：本发明公开了一种聚焦环、等离子体处理装置及其操作方法。所述聚焦环用于等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括反应腔和位于所述反应腔内的作为下电极和承载晶圆的基座，所述聚焦环在反应腔内环绕基座设置；所述聚焦环包括外延部，所述外延部在工艺处理时环绕基座所承载的晶圆的外周；所述外延部包括第一环形顶面，所述第一环形顶面上设置有沿其周向延伸的鞘层调整槽，用于在制程中调整其上方的等离子体鞘层形状以形成鞘层凸起。本发明能够收集反应腔内的聚合物颗粒物，减少颗粒物对晶圆的污染，提高工艺效果。

今年以来中微公司新获得专利授权129个，较去年同期增加了40.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1538条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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