中微公司获得实用新型专利授权：“气体分配盒及气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体分配盒及气相沉积设备”，专利申请号为CN202422687373.2，授权日为2025年10月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体分配盒和气相沉积设备，所述气体分配盒包括：侧壁、顶壁和底壁围成的内部空间；进气管，所述进气管与所述内部空间连通；至少两个出气管，所述出气管与所述内部空间连通；多孔板，所述多孔板设置在所述内部空间内，将所述内部空间分割为连通的混气腔和扩散腔；所述进气管通过所述扩散腔与所述混气腔连通；通过设置多孔板，使气体在该气体分配盒中受到的流阻大，流动速度慢，从而增长了在气体分配盒内的气体混合时间，提高了气体混合均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权121个，较去年同期增加了31.52%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1538条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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