芯碁微装获得发明专利授权：“提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机”，专利申请号为CN202411720670.0，授权日为2025年10月10日。

专利摘要：本发明公开了一种提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机，该装置包括：光源、照明光路、调制单元和控制器，控制器连接光源，且控制器还与调制单元连接，用于控制光源发射照射光线，以及向调制单元发送原始图像或者对原始图像进行拉伸后，将得到的拉伸图像发送至调制单元；调制单元，用于在第一照射区域内对原始图像进行单方向的拉伸和压缩处理，得到曝光图像，或者，调制单元用于在第一照射区域内对拉伸图像进行单方向的压缩处理，得到曝光图像，其中，第一照射区域大于或等于原始图像所占的区域。本发明能够确保输出的曝光图像不变形，使得曝光图像与原始图像的尺寸一致，提高了曝光面的功率密度，且不损失扫描宽度，降低成本。

今年以来芯碁微装新获得专利授权34个，较去年同期增加了30.77%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目146次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息376条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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