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西安奕材获得发明专利授权:“改善外延晶圆品质的方法、装置,及外延晶圆和其制造方法”

来源:证券之星企业动态 2025-10-11 03:12:05
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“改善外延晶圆品质的方法、装置,及外延晶圆和其制造方法”,专利申请号为CN202411626173.4,授权日为2025年10月10日。

专利摘要:本公开提供了一种改善外延晶圆品质的方法、装置,及外延晶圆和其制造方法。该改善外延晶圆品质的方法包括:将外延晶圆的表面缺陷的位置与外延工艺设备中的接触部件的接触位置进行匹配,获得与接触部件的接触位置相匹配的第一表面缺陷;获取第一表面缺陷的形貌和类型;根据第一表面缺陷的形貌和类型以及外延晶圆的外延层厚度,确定接触部件的改善手段以降低第一表面缺陷的数量。

今年以来西安奕材新获得专利授权19个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元,同比减nan%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目3次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1339条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

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