拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备”，专利申请号为CN202422822803.7，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备。双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门，两个装载区由隔离门间隔；循环冷却净化装置用于向装载区中的晶舟位置通入气体并进行吹扫，循环冷却净化装置包括对称设置于两个装载区中的两组循环冷却净化组件；两组循环冷却净化组件分别在两个装载区中进行吹扫清洁和冷却。本实用新型的循环冷却净化组件可以使通入的气体进行撞击反射后再有方向性地到达晶舟位置，可对晶舟和晶舟上的晶圆进行均匀地吹扫，以实现清洁和冷却，并且气体经过反射后有效降低了高压力大流量的气体对晶圆与晶舟的直接冲击，具有缓冲作用。

今年以来拓荆科技新获得专利授权53个，较去年同期增加了112%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息714条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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