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拓荆科技获得实用新型专利授权:“一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备”

来源:证券之星企业动态 2025-10-11 03:08:31
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备”,专利申请号为CN202422822517.0,授权日为2025年9月26日。

专利摘要:本实用新型公开了一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备,双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门,两个装载区由隔离门间隔;其特征在于,晶舟交换机构用于将两个装载区中的晶舟进行交换,晶舟交换机构包括运动臂、两个抓取部和驱动部;运动臂设置于隔离门的门口底部;两个抓取部设置于运动臂上且分别用于抓取两个装载区中的晶舟;驱动部设置于隔离门的门口底部且与运动臂连接,驱动部用于驱动运动臂运动并带动两个抓取部在两个装载区中移动交换。本实用新型先通过两个抓取部抓取两个装载区中的两个晶舟后,再由驱动部带动运动臂进行旋转,以连动两个抓取部在两个装载区中进行旋转交换,从而实现两个装载区中的晶舟交换需求。

今年以来拓荆科技新获得专利授权53个,较去年同期增加了112%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元,同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目98次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息714条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源:天眼查APP

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