芯源微获得发明专利授权：“晶圆翘曲检测方法、装置、设备及介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆翘曲检测方法、装置、设备及介质”，专利申请号为CN202310527138.6，授权日为2025年10月10日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆翘曲检测方法、装置、设备及介质，包括：获取基准晶圆的周侧面图像，对基准晶圆的周侧面图像进行图像处理以得到基准晶圆边缘图像和基准晶圆边缘采样点的基准坐标信息；获取待检测晶圆的周侧面图像，对待检测晶圆的周侧面图像进行图像处理以得到待检测晶圆边缘图像和待检测晶圆边缘采样点的检测坐标信息；根据检测坐标信息和基准坐标信息得到边缘采样点的偏差信息；根据边缘采样点的偏差信息计算边缘采样点的离散傅里叶级数；根据边缘采样点的离散傅里叶级数确定翘曲类型和翘曲度。本发明不必借助专用设备单独检测，在进行晶圆其他检测项目的同时可进行晶圆翘曲检测，降低了晶圆的翘曲检测成本、提高了检测效率。

今年以来芯源微新获得专利授权40个，较去年同期增加了42.86%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目323次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息619条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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