芯源微获得发明专利授权：“晶圆处理液喷洒方法和装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆处理液喷洒方法和装置”，专利申请号为CN202211151108.1，授权日为2025年10月10日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆处理液喷洒方法和装置，所述晶圆处理液喷洒方法包括如下步骤：提供表面带有薄膜的晶圆，所述薄膜表面具有盲孔；驱动所述晶圆交替进行正反转；使用第一喷嘴向所述晶圆喷洒清洗液；所述晶圆处理液喷洒方法和装置能够清洗晶圆盲孔内的刻蚀液，减少晶圆盲孔内的材料损失量。

今年以来芯源微新获得专利授权40个，较去年同期增加了42.86%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目323次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息619条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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