微导纳米获得发明专利授权：“原子层沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“原子层沉积设备”，专利申请号为CN202310848059.5，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本申请公开了一种原子层沉积设备。原子层沉积设备包括负压泵和工艺腔体。负压泵通过第一气流管路和第二气流管路分别与工艺腔体连通。第一气流管路和第二气流管路分别设置有第一阀门和第二阀门，并且第一气流管路和第二气流管路中的至少一者串联设置有冷阱。工艺腔体还设置有第一进气道、第二进气道和第三进气道，用于分别供第一工艺气体、第二工艺气体和惰性保护气进入工艺腔体。通过上述方式，本申请能够减少原子层沉积设备中粉尘的产生，减少管路堵塞和设备损伤。

今年以来微导纳米新获得专利授权57个，较去年同期增加了54.05%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息549条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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