至纯科技获得发明专利授权：“一种基于流场控制的高温蚀刻方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于流场控制的高温蚀刻方法”，专利申请号为CN202111674419.1，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本发明提供一种基于流场控制的高温蚀刻方法，包括：步骤S1，获取一基板，通过清洗溶液对基板的表面进行清洗；步骤S2，喷淋雾化溶液至基板的表面以形成一热能流场，实时检测热能流场的一实时温度；步骤S3，判断热能流场的实时温度是否大于一预设温度：若否，增大雾化溶液的温度并返回步骤S2；若是，转向步骤S4；步骤S4，喷淋蚀刻溶液至基板的表面进行蚀刻。有益效果是本方法实时检测热能流场的实时温度并通过调整雾化溶液的温度使实时温度大于预设温度，使雾化溶液与蚀刻溶液充分接触，以及在蚀刻过程中检测基板的表面温度并实时进行调整，提高蚀刻溶液的蚀刻效果。

今年以来至纯科技新获得专利授权43个，较去年同期增加了126.32%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息321条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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