至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆状态检测装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆状态检测装置”，专利申请号为CN202422022476.7，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆状态检测装置。包括，升降机构，升降机构具备可沿晶圆层放的方向升降运动的升降体，升降机构的一侧设有沿升降方向固定的梳齿条；晶圆状态检测机构，连接升降体，晶圆状态检测机构包括，对射传感器，设于可沿水平方向运动的框架上，可控制地位于晶圆的两侧，输出升降中被晶圆遮光的第一检测信号；晶圆状态传感器，设于升降体上，输出升降中被梳齿条遮光的第二检测信号。本实用新型通过结合梳齿条和晶圆状态传感器，并配合对射传感器构建双检测机制，可以补偿设备的轻微抖动对传感器检测结果的影响，使检测结果更加准确。

今年以来至纯科技新获得专利授权39个，较去年同期增加了105.26%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息320条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。