西安奕材获得发明专利授权：“一种外延设备清洁方法及外延片、计算机可读介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种外延设备清洁方法及外延片、计算机可读介质”，专利申请号为CN202411028001.7，授权日为2025年9月30日。

专利摘要：本公开提供了一种外延设备清洁方法及外延片、计算机可读介质，该方法包括：对外延设备的反应腔室进行初步吹扫和初步升温；对反应腔室执行可重复清洁步骤，可重复清洁步骤包括：对反应腔室进行吹扫、升温、氢气烘烤、输送刻蚀气体、吹扫、冷却；对反应腔室进行降温，使腔室温度降温至外延生长时的工艺温度；将空白测试硅片置于反应腔室内长膜，得到测试外延片；检测测试外延片的表面颗粒，以判断反应腔室的清洁指标是否符合预设清洁指标；若反应腔室的清洁指标不符合预设清洁指标，再次执行可重复清洁步骤，直至清洁指标符合预设清洁指标为止。本公开的外延设备清洁方法及外延片、计算机可读介质，能够减少外延片颗粒污染，提高产品品质。

今年以来西安奕材新获得专利授权8个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1336条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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