上海新阳获得实用新型专利授权：“晶圆清洗媒介的循环装置及晶圆封装设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海新阳（300236）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆清洗媒介的循环装置及晶圆封装设备”，专利申请号为CN202422009553.5，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗媒介的循环装置及晶圆封装设备，第一管路连接接水口和泵体的泵入口，设置第一控制阀；第二管路连接温度控制器的第一出口与送水口，设置流量控制器和第二控制阀；第三管路连接温度控制器的第一出口和泵入口，设置第三控制阀；第四管路连接泵出口和第一进口；第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀开启，清洗媒介循环输送，流量控制器控制第二管路输送第一流量的清洗媒介至送水口，第三管路输送第二流量的清洗媒介回泵体，第二流量远大于第一流量。本实用新型的技术方案能够在对晶圆进行超声波清洗时，有效利用溢出的清洗液，并能以不影响超声波清洗的前提下向清洗槽缓慢输送清洗液，以保证清洗槽对晶圆的清洗效果。

今年以来上海新阳新获得专利授权27个，较去年同期减少了27.03%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.22亿元，同比增25.4%。

通过天眼查大数据分析，上海新阳半导体材料股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目72次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息415条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可105个。

数据来源：天眼查APP

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