证券之星消息,光力科技(300480)09月28日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问:近日消息称:青禾晶元碳化硅复合衬底新突破,达国际领先水平。据此,青禾晶元复合衬底需将单晶SiC薄层键合至多晶衬底,请问:①光力的切割设备能否满足其界面平整度要求?是否有针对键合界面的特殊工艺方案?②复合衬底目标成本较传统衬底降50%,光力的切割设备在加工效率、良率方面如何支持这一目标?是否有针对废料回收切割的优化方案?③是否计划与青禾合作开发复合衬底专用切割设备?以及如何应对8英寸复合衬底挑战?
光力科技回复:感谢您的关注!公司目前没有晶圆剥离和晶圆键合的成熟产品。针对先进封装和碳化硅晶圆的切割和研磨,公司有量产的多种型号设备,为客户提供服务。叠层的晶圆结构有可能会对晶圆切割的工艺提出新的要求,公司将根据客户需求提供包含设备、耗材及工艺的整体解决方案,谢谢!
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