芯源微获得发明专利授权：“喷嘴及清理基板表面污染物的装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“喷嘴及清理基板表面污染物的装置”，专利申请号为CN202111074962.8，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本发明提供了一种喷嘴及清理基板表面污染物的装置，包括喷嘴主体，开设有贯穿喷嘴主体的安装通道，安装通道的前端为输出通道，输出通道的外侧设有第一布风槽，喷嘴内芯开设有贯穿嵌入部的进液通道，进液通道的前端对应输出通道，进液通道的前端设有第二布风槽，喷嘴内芯具有嵌入部，嵌入部与安装通道配合连接且形成一级气腔，一级气腔与第二布风槽导通，壳体套设于喷嘴主体，壳体开设有输出口，壳体与喷嘴主体配合连接形成二级气腔，二级气腔与第一布风槽导通，第一布风槽与输出口导通。本发明通过一级气腔和二级气腔内的气体打散流出的液滴，使流出的液滴尺寸变小，形态更加均匀，可高效无损伤的清洗基板的表面，提高了处理半导体基板的良率。

今年以来芯源微新获得专利授权36个，较去年同期增加了28.57%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目323次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息617条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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