至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置”，专利申请号为CN202422022478.6，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本实用新型提供一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置，属于晶圆技术领域，适用于封闭式设备前端模块，封闭式设备前端模块包括用以搬移前开式晶圆盒的晶圆盒传输机构；包括：固定框架，安装有承载台；承载台上开设有缺口，以供晶圆盒传输机构的机械手穿过；晶圆盒开闭机构，设置于固定框架的窗口处；第一晶圆状态检测机构，位于晶圆盒开闭机构的上方；升降机构，安装在固定框架上，升降机构带动晶圆盒开闭机构以及第一晶圆状态检测机构同步升降；升降机构上还设有用以检测第一晶圆状态检测机构位置的第二晶圆状态检测机构。有益效果：通过在承载台上开设缺口，适用于封闭式设备前端模块；同时采用双检测机制，提高检测结果的准确性。

今年以来至纯科技新获得专利授权38个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息320条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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