芯源微获得实用新型专利授权：“一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元”，专利申请号为CN202422840765.8，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本实用新型属于涂胶显影设备技术领域，具体地说是一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元，包括安装基板及若干组晶圆传送组件。每组晶圆传送组件均包括直线驱动结构、连接支架、结构连接板、晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构。其中每组晶圆传送组件的晶圆旋转定位结构均具有用于吸附晶圆并能够带动晶圆旋转的可旋转吸附端，每组晶圆传送组件的晶圆缺口检测结构用于检测晶圆的缺口位置。本实用新型通过晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构的设置，可对晶圆缺口进行检测并使晶圆缺口转动到预设位置，该位置为不影响后续机械手的晶圆自动对中，有效防止机械手取放晶圆时产生偏心。

今年以来芯源微新获得专利授权35个，较去年同期增加了25%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目322次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息615条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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