西安奕材获得实用新型专利授权：“边缘刻蚀装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“边缘刻蚀装置”，专利申请号为CN202422828363.6，授权日为2025年9月23日。

专利摘要：本实用新型提供了一种边缘刻蚀装置，属于半导体制造技术领域。装置包括：上腔体；下腔体，所述下腔体的上表面设有微处理腔室，所述下腔体位于所述上腔体的下方，且所述上腔体和所述下腔体相对可升降，以使所述上腔体和所述下腔体配合能够封闭或打开所述微处理腔室，其中，所述微处理腔室的周向边缘设有刻蚀槽；贯穿所述下腔体的底部的多个支撑杆，所述多个支撑杆用于在所述下腔体下降、所述微处理腔室打开时，对硅片进行支撑，每一所述支撑杆上设有一位置检测组件，所述位置检测组件用于在装载所述硅片进入所述微处理腔室时对所述硅片的位置进行检测，以使所述硅片装载至所述微处理腔室的中心位置。本实用新型能够减小边缘刻蚀宽度偏差。

今年以来西安奕材新获得专利授权6个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

数据来源：天眼查APP

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